高端裝備制造
菱形鉸鏈斜槽式正交驅動型壓電粘滑直線馬達及其復合激勵方法
一種菱形鉸鏈斜槽式正交驅動型壓電粘滑直線馬達及其復合激勵方法,以解決當前壓電粘滑直線馬達由于摩擦力綜合調控困難所導致的輸出機械性能受限等問題。本發明由預緊力調節裝置、定子和動子組成;所述定子利用斜槽式菱形運動轉換器來產生側向位移,增大了摩擦驅動力,減小了摩擦阻力,所產生的側向位移通過驅動足實現動子驅動;同時將摩擦調控波耦合疊加于定子快速變形階段的鋸齒驅動波中,降低了快速變形階段定、動子間摩擦阻力,降低了位移回帶率,顯著提升壓電粘滑直線馬達的機械輸出特性。本發明因具有結構緊湊、控制簡單、定位精度高等優點,可廣泛應用于半導體加工與光學精密儀器等先進技術領域中。
長春工業大學
授權發明