高端裝備制造
單鉤型位移轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)壓電粘滑直線電機(jī)及其激勵(lì)方法
一種單鉤型位移轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)壓電粘滑直線電機(jī)及其激勵(lì)方法，以解決當(dāng)前壓電粘滑直線電機(jī)由于摩擦力綜合調(diào)控困難所導(dǎo)致的輸出機(jī)械性能受限等問(wèn)題。本發(fā)明由加載機(jī)構(gòu)、單鉤型定子和動(dòng)子組成；所述定子的單鉤型菱形位移放大轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)具有微位移放大功能，由于其軸向剛度分布不均產(chǎn)生側(cè)向位移的同時(shí)又增大了摩擦驅(qū)動(dòng)力，減小了摩擦阻力；同時(shí)將摩擦調(diào)控波耦合疊加于單鉤型定子快速變形階段的鋸齒驅(qū)動(dòng)波中，從而降低快速變形階段定、動(dòng)子間摩擦阻力，實(shí)現(xiàn)對(duì)摩擦力的綜合調(diào)控，顯著提升壓電粘滑直線電機(jī)的機(jī)械輸出特性。本發(fā)明因具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、裝配方便、定位精度高以及行程不受限等優(yōu)點(diǎn)可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體加工等微納精密驅(qū)動(dòng)與定位技術(shù)領(lǐng)域。
長(zhǎng)春工業(yè)大學(xué)
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