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專利名稱 一種紅熒烯薄膜自組裝有序圖案化生長制備的方法
申請號/專利號 CN201510744112.2 專利權人(第一權利人) 長春工業大學
申請日 2015-11-06 授權日 2018-02-23
專利類別 授權發明 戰略新興產業分類 材料化工
技術主題 自組裝|化學|大氣層|傳導渠道|半導體
應用領域 真空蒸發鍍覆|濺射鍍覆|離子注入鍍覆
意向價格 具體面議
專利概述 本發明是一種紅熒烯薄膜自組裝有序圖案化生長制備的方法,即在真空氛圍中,在SiO2層之上沉積紅熒烯層,通過沉積、停歇的多次循環,實現自組裝排列的孔狀圖案化紅熒烯薄膜,紅熒烯聚集處為半導體的導電溝道部分,而紅熒烯未聚集的孔洞處是不導電部分。從而實現免去光刻的自組裝圖案化生長,達到有序、可控圖案化生長的目的。
圖片資料 一種紅熒烯薄膜自組裝有序圖案化生長制備的方法
合作方式 具體面議
聯系人 戚梅宇 聯系電話 13074363281
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