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專利名稱 一種制造超大面積納米壓印無縫圖案的裝置及方法
申請號/專利號 CN201710990339.4 專利權人(第一權利人) 長春工業大學
申請日 2017-10-22 授權日 2024-01-02
專利類別 授權發明 戰略新興產業分類 材料化工
技術主題 機械工程|UV固化|光刻膠|紫外線|物理學|材料科學
應用領域 照相制版工藝涂層設備|照相制版工藝曝光裝置|微光刻曝光設備
意向價格 具體面議
專利概述 本發明涉及一種制造超大面積納米壓印無縫圖案的裝置及方法,涉及紫外納米壓印領域。收卷輥用于將襯底卷收起來,放卷輥用于放出襯底,滾筒壓印裝置位于收卷輥和放卷輥之間,收卷輥與放卷輥工作時保持同步旋轉,涂膠裝置中含有光刻膠,用于在襯底上涂抹一層均勻的光刻膠,滾筒壓印裝置用于將壓印模板上的微小圖案壓印于涂完膠的襯底上,支撐輥一,支撐輥二,支撐輥三,支撐輥四,均為可透光的圓柱形,支撐輥二,支撐輥三,支撐輥四中均放置有紫外固化裝置。優點是精確調控各模板以及紫外燈可固化的距離,能夠制造出超大面積的納米壓印無縫圖案,加入了多個壓印輥同時進行壓印超大型圖案,提高了納米壓印的生產效率。
圖片資料 一種制造超大面積納米壓印無縫圖案的裝置及方法
合作方式 具體面議
聯系人 戚梅宇 聯系電話 13074363281
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