| 專利名稱 |
一種二維振動(dòng)輔助的輥對(duì)平面熱壓印裝置 |
| 申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào) |
CN201820504518.2 |
專利權(quán)人（第一權(quán)利人） |
長(zhǎng)春工業(yè)大學(xué) |
| 申請(qǐng)日 |
2018-04-11 |
授權(quán)日 |
2018-11-06 |
| 專利類別 |
實(shí)用新型 |
戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)分類 |
材料化工 |
| 技術(shù)主題 |
工程學(xué)|殘余應(yīng)變|非彈性變形|軸向位移|聚合物|長(zhǎng)寬比|剪切變形|熱壓紋|分子結(jié)構(gòu) |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 |
化學(xué)工程|實(shí)用技術(shù)|材料科學(xué)|設(shè)備改進(jìn)|高端裝備 |
| 意向價(jià)格 |
具體面議 |
| 專利概述 |
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種二維振動(dòng)輔助的輥對(duì)平面熱壓印裝置，調(diào)節(jié)X?Y工作平臺(tái)，使襯底位于壓印輥正下方，啟動(dòng)加熱裝置對(duì)襯底進(jìn)行預(yù)熱，再由Z軸位移平臺(tái)調(diào)控升降平臺(tái)使壓印裝置向下運(yùn)動(dòng)，直至壓印輥與襯底微接觸，并進(jìn)行壓印，在壓印的同時(shí)使用二維振動(dòng)平臺(tái)對(duì)襯底進(jìn)行二維振動(dòng)，壓印完成后進(jìn)行冷卻固化并使用二維振動(dòng)輔助脫模，最后控制升降裝置上升，壓印結(jié)束。本實(shí)用新型采用二維振動(dòng)平臺(tái)帶動(dòng)襯底實(shí)現(xiàn)壓印時(shí)X?Y方向振動(dòng)，使壓印過(guò)程模具與固態(tài)膠層之間產(chǎn)生剪切變形，使固態(tài)膠非彈性變形或流動(dòng)，圖案根部有殘留應(yīng)力，使高深寬比圖案不坍塌，并通過(guò)振動(dòng)振散分子結(jié)構(gòu)以減少粘附力，從而減少模板與聚合物脫離時(shí)造成的損傷與毀壞，增大微納圖案的效率與保真度。 |
| 圖片資料 |
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| 合作方式 |
具體面議 |
| 聯(lián)系人 |
戚梅宇 |
聯(lián)系電話 |
13074363281 |
